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中科院SP型自动匹配器产品特点及主要性能指标：
1、自动快速调节匹配网络
2、实时显示入射功率及反射功率变化， 指示精度 3%
3、显示自偏压
4、实时显示电容位置变化，可明显展示工艺阻抗变化的特征
5、采用真空电容调节（1KW以上）
6、具有自动控制和手动控制两种模式
7、电压输入: 220v
8、提供配合射频电源的反射功率保护信号，与射频电源配合使用
9、直流电机驱动，保证运行期间合适的速率，从而提高匹配网络的稳定性
中科院RFG射频电源与SP自动匹配器