射频电源系统主要功能；
输出功率： 额定功率1 ~ 100% ，连续可调
功率稳定度： ≤ ±0.5％(额定功率输出时
频率稳定度： ≤ ±0.005%
功率响应时间： 额定输出启动 ＜ 10ms
频率信号： 标准正弦波，进口石英晶振激励
输 出 功率；500-3000W (可选择）
输出电压； 110-10000V (可选择）
信号频率： 13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz/81.36MHz/100MHz（或其它工业频率）
信号输出形式： 连续波；矩形方波（由加脉冲调制器调制成方波，脉冲宽度10微秒到连续波
占 空比可用户定义，方波上升沿和下降沿不大于3微秒）
承受驻波比： VSWR ≤ 2.0
谐波输出： 二次谐波低于 -50dB，三次及更高次谐波低于 -
供电电压： AC220V±15% 供电，50/60Hz
整机效率: ≥ 70％（200W输出时）
冷却方式： 强制风冷
环境温度： 0 ~ 40℃
相对湿度： < 85℃
外形尺寸：410×420×133（mm）（可以定制）
颜色；象牙白，（可以定制）
控制接口： 模拟接口，或采用RS485、RS232 通讯协议
寿命: 核心部件进口晶体管，每天24小时连续工作可使用30年