中科院RFG射频电源与SP自动匹配器

2013-11-04 01:49  中国科学院微电子研究所   42次浏览

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固定电话: 010-82995634(秦威)
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传真: 010-84025539
地址:北京市朝阳区北土城西路3号
网址:www.rf-power.net
中科院SP型自动匹配器产品特点及主要性能指标：
　　　　1、自动快速调节匹配网络
　　　　2、实时显示入射功率及反射功率变化，   指示精度 3%
　　　　3、显示自偏压
　　　　4、实时显示电容位置变化，可明显展示工艺阻抗变化的特征
　　　　5、采用真空电容调节（1KW以上）
　　　　6、具有自动控制和手动控制两种模式
　　　　7、电压输入: 220v
　　　　8、提供配合射频电源的反射功率保护信号，与射频电源配合使用
　　　　9、直流电机驱动，保证运行期间合适的速率，从而提高匹配网络的稳定性

公司：中国科学院微电子研究所
联系：秦威 (先生)  
地址：北京市朝阳区北土城西路三号
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座机：010-82995634
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