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NanoMap-D三维光学表面轮廓仪和三维接触式表面轮廓仪系统
你极想知道哪种技术用于表面形貌接触或非接触的轮廓仪。接触和非接触两种技术存在大约30年了，但是两种技术都不能相互取代。它们是互为补充的技术。我们的下一代先进通用的表面轮廓仪能够在同一个检测器上容纳三维光学表面轮廓仪和三维扫描接触轮廓仪。两个互补的技术在同一个平台上打开了容易和可靠地分析任何种类的样品的窗口。自动容易地开关两个头，而且容易的软件使这个系统很有效力和通用性。
购买者有一个选择，现在只选择一个模块，将来在模块平台上能够加第二个头。这个系统是升级的。由研究和生产环境使用。
特征
平台特征
▪ 客户精密马达台是计算机在5个方向控制的
▪ 超高分辨率数字成像传感器同工业标准比较，传递13倍的数据
▪ 容易使用的两个关键操作
▪ 在一个平台上容纳两种技术
光学轮廓仪头的特征
▪ 两百万像素图像
▪ 1皮米的分辨率
▪ Z轴范围从nm到10mm
▪ 超快速(不到一秒钟产生图像)
▪ LED光源寿命超过20年
接触式轮廓仪头的特征
▪ 压力尖扫描
▪ 产生三维图像和二维图像
▪ Z轴范围 nm到500微米或0.5mm
▪ XY轴范围 nm到150mm(使用针尖和台面扫描模式)
应用
▪ 台阶高度测量
▪ 表面粗糙测量
▪ 定量的抓和挖的特征，呈现深度、宽度和体积
▪ 平面或曲率的测量
▪ 二维薄膜应力测量
▪ 薄膜厚度
▪ 表面轮廓- 缺陷、形貌等
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