厦门无尘净化车间设计 无尘车间选择景承净化科技！ 无尘车间管理制度 1．0 无尘车间管理的目的 半导体产品生产过程对车间有明确的洁净要求，为了满足生产工艺需要、保证产品质量、安全生产，必须对洁净室的环境、人员、物料、设备、生产过程等进行控制。 2．0 无尘车间管理的原则 2.1 进入洁净室的管理，包括对洁净室工作人员进入、物料进入、各类设备的搬 入以及相关的设备、管线的维护管理，应做到不得将微粒、微生物带入洁净室。 2.2 操作管理技术，对洁净室内人员用洁净工作服的制作、穿着和清洗；操作人 员的移动和动作；室内设备及装修材料的选择和清扫、灭茵等，尽可能地减少、防止洁净室内尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖等。 2.3 严格各类设备、设施的维护管理，制定相应的操作规程，保证各类设备、设 施按要求正常运转，包括净化空调系统、各类水气电系统、生产工艺设备和工器具(工装夹具)等。以确保产品生产工艺要求和空气洁净度等级。 2.4 清扫、灭菌管理，对洁净室内的各类设备、设施的清扫、灭茵以及方法、周 期和检查作明确的规定，防止、捎除洁净室内尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖。 2.5 洁净室环境控制的内容包括：空气净化、洁净建筑、与产品直接接触的水或 气体或化学品和生产设备、工器具等的污染物控制以及微振动、噪声、静电的控制、防止等。 3．0 适用范围 半导体公司所有洁净生产区及洁净辅助间(包括人员净化用室、物料净化用室和相关生活用室等)、车间内管理区(包括部分办公、值班、管理和体息室等)和将来新建、改建、扩建的洁净厂房及其辅助用房。
