表面轮廓仪 ? ? ?该系统可对包含陡峭边沿的非球面光学镜面及模具进行表面轮廓、形貌、粗糙度的全自动测量和分析。在非球面光学领域应用广泛,可实现无斜面限制的全自动表面测量,对表面起伏大的非球面能够实现超高精度测量。测量范围为0.5~200mm,倾斜角度可达90°。