油拡散ポンプ油拡散ポンプの真空油は分子状態または蒸気として噴射し、真空状態を得るために使用されます。低い蒸気圧、熱によって変質しないこと(耐熱性)や酸素と反応しにくい性質(耐酸化性)など化学的に安定であることが要求されます。